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工业检测显微镜BM-54XBD(三目)


工业检测显微镜BM-54XBD(三目)

一、用途

BM-54XBD工业检测显微镜配有大移动范围的载物台、落射照明器、平场无限远长工作距离明暗物镜、大视野目镜、图像清晰、衬度好。是针对半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、冶金工业开发的,作为**工业显微镜使用。可进行明暗场观察、落射偏光、DIC观察,广泛用于工厂、研究机构、高等院校对硅片、电路基板、FPD、精密模具的检测分析。


二、特点

1、采用了UIS高分辨率、长工作距离无限光路校正系统的物镜成像技术

2、拓展了物镜的复用技术,无限远物镜与所有观察法相兼容包括明暗视野法、偏光法,并在每一观察法中均提供高清晰的图像质量

3、采用非球面Kohler照明,增加观察亮度

4、WF10X(Φ25mm)超大视野目镜,长工作距离明暗场金相物镜

5、可插DIC微分干涉装置的转换器

三、技术规格

1、目镜:

类 别放 大 倍 数目视场直径(mm)
超宽视场
平场目镜
10XΦ25
目镜
(带0.1mm十字分划板)
10XΦ20

2、物镜:

类 别放大倍数数值孔径N.A(mm)系 统工作距离(mm)
平场无限远
长工作距离
明暗场物镜
5X0.1029.4
10X0.2516.0
20X0.4010.6
40X0.605.40

3、显微镜的总放大倍率:

物 镜目 镜镜筒系数总放大倍数
5X10X1X50X
10X100X
20X200X
40X400X

4、观察头:30°铰链式三目

5、转换器:带DIC 插孔明暗场五孔转换器

6、瞳距:50-75 mm

7、双层移动平台:平台尺寸:350×310 mm;移动范围:250×250 mm

8、滤色片:插板式滤色片(绿、蓝、中性)

9、调焦机构:粗微动同轴调焦,采用卤轮卤条传动机构;微动格值0.002mm

10、偏光装置:检偏镜可360°转动,起偏镜、检偏镜均可移出光路

11、检测工具:0.01 mm测微尺

12、光源: 落射照明:带孔径光栏和视场光栏,卤素灯12V100W,AC85V-230V,亮


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上海彼爱姆(BM)光学仪器制造有限公司是继于具有五十年光学仪器制造的企业上海光学仪器厂(上光)。在机制改革成熟和进入WTO适应国际市场开拓发展新概念的基础上,优化组建成BM公司。BM云集了有四十多年从事光学科技研制的老一辈工程技术人员,具有多年来与德、日、俄等国外同行合作开发研制的经验。有雄厚的技术力量,是老“上光”的深化和延续。具有现代科学管理体制的光、机、电、智能化综合型光学仪器制造的专业企业。
 
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